气体纯化器相关论文
阐述半导体制造过程中的重要设备气体纯化器的发展背景,气体纯化设备的国产化替代历程,存在的问题和应对的策略,从而适应集成电路......
现代半导体工厂和特气工厂使用复杂的气体输送系统(GDS)用来将UHP气体从大宗气体纯化器输送到工艺过程之中。一般来讲，这些GDS......
微晶硅薄膜及其太阳电池研究已经成为国际光伏领域研究热点。因为其克服了非晶硅薄膜太阳电池光致不稳定和效率低的缺点，而被公认为......
设计并研制了由气体纯化器、 水渗透管和稀释装置组成的微痕量水分标准发生系统.以氮气为稀释气,系统可连续发生含量范围为 10～1 00......
随着我国产业的迅速发展，对于高纯气体的需求也越来越多，品质要求也越来越高，因而对于高纯气体中的杂质检验和控制也就更加严格。本文......
通过实验和数据说明了空分装置生产的液氧经汽化后进入配有气体纯化器、放电离子化检测器和Hayesep S 30"×1/8"填充柱的气相......
实验室惰性气体纯化器普遍价格昂贵，其再生利用对于节能减耗，降低成本具有重要意义。通过设计一套通气加热还原装置，将废旧的惰性气体......
高纯气体的制造有一定的难度，在气体的液化过程中，气体中会有少许杂质因温度降低而形成杂质固体，进而影响液化器的正常运行，为解决此问......
应用于半导体产业的硅外延材料,其制造工艺的发展迄今已将近50年。一方面,为了满足硅外延片从小尺寸向大尺寸发展以及材料均匀性要......
