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线宽压窄模块是光刻用准分子激光器的重要组成部分。线宽压窄模块中棱镜组及光栅的装配角度直接影响系统输出特性。为了进一步改进......
准分子是激发态结合而基态离解的受激二聚体。准分子激光作为一种能够精确聚焦和控制的紫外光源，由于其波长短、均匀性好和脉冲能量......
<正> 总体设计思想:对一个给定放大率的棱镜系统,当调整光线在各个棱镜入射面上的入射角相等时,系统的损失最小。本文讨论了棱镜扩......
棱镜扩束器(PBE)广泛用在准分子激光腔内光谱压窄系统中,可以有效降低光束发散角和系统内能量密度。为了实现窄线宽激光输出并降低......
