晶圆缺陷检测相关论文
半导体生产过程中,晶圆加工工艺过程复杂,为保证质量,几乎加工过程中的每一步工序质量都需要进行检测,否则缺陷产品流入下一道工序......
晶圆指半导体电路制作中用到的硅晶片,可在晶圆上蚀刻出各种电子器件电路,是半导体电路制造过程中十分重要的中间产物。随着半导体......
随着近年来制造工业在我国的迅速发展,对于产品质量的要求也在不断提高,相应的对于产品质量检测技术的速度和检测准确率也提出了更......
晶圆在半导体的制造中占据很重要的部分,若封装含缺陷的晶圆,则会影响后期集成电路的性能。随着半导体尺寸越来越小,可能出现成像......
为降低晶圆缺陷对半导体制造的影响,设计一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷在线自动检测技术。首先,针对晶圆中单个晶元可能出现缺角......
近年来,随着我国半导体行业的迅速发展,光刻工艺复杂度不断提高,品圆的缺陷来源越来越多元化,晶圆检测的传统方式主要为人工目检,......
