成像光刻相关论文
本文分析了离焦量对微透镜列阵成像光刻图形质量的影响，给出了系统离焦量的容差。同时提出了一种结构简单、可应用于微透镜列阵成像......
随着光学仪器技术的快速发展与广泛应用,传统光学镜头已成为制约光学仪器向微型化、集成化、阵列化、轻量化发展的技术瓶颈。如何......
由于光学衍射极限的存在,传统光学系统的分辨率始终受到限制,进而极大地限制了光学系统在具有高分辨需求领域的应用,如大规模集成......
介绍了一种利用微透镜列阵投影成像光刻的周期微纳结构加工方法。该方法采用商业打印机在透明薄膜上打印的毫米至厘米尺寸图形为掩......
