微区电阻率相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

微区电阻率相关论文

具有温度控制的微区电阻率测量装置研究

科学技术的快速发展促进了集成电路的大规模生产,也导致了芯片尺寸的不断缩小。硅片是集成电路中芯片的衬底材料,在要求硅片直径不......

学位

微区电阻率温度控制 STM32 EIT 测量装置

大型硅片内微区薄层电阻均匀性测试技术研究

随着科学技术的飞速发展,集成电路和软件早已经成为信息社会经济发展的基石和核心,其中集成电路是最能体现知识经济特征的典型产品......

学位

四探针测试技术微区薄层电阻 Rymaszewski方法 EIT 等位线反投影法

扩展电阻测试仪

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期刊

扩展电阻测试仪半导体器件微区电阻率测试

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