RF MEMS开关是MEMS技术的重要应用,是实现控制微波信号传输的关键器件,是构成可调滤波器、多位移相器、多位延时器等射频MEMS器件......

提出了一种新型电磁驱动推拉式射频MEMS开关。针对传统静电驱动单臂梁开关所需驱动电压大、恢复力不足等问题,设计了一种推拉式开......

低驱动电压电容式RFMEMS开关采用弹性拆叠梁支撑可变电容活动极板，使开关弹性结构具有很小的弹性系数，但也降低了开关的一阶模态谐振......

概述射频MEMS开关的研究背景及意义，介绍国内外射频MEMS开关的研究现状，列举出两种主要的射频MEMS开关：电容耦合并联式开关和金属．金属......

采用厚度为2μm的Au制作成共平面波导（CPW）、聚酰亚胺作为牺牲层、PECVD法淀积Si3N4薄膜作为悬臂梁，制作成悬臂梁接触式RF MEMS开关。......

采用了等离子体增强化学气相沉积法(plas-ma-enhanced chemical vapor deposition,PECVD)在聚酰亚胺(polyimide,PI)牺牲层上生长氮......

射频MEMS开关作为微机电系统中可控制信号导通与断开的关键电子元器件,因其小尺寸、低成本及高可靠性等特点可广泛应用于各种射频......

由于射频MEMS器件能够满足通讯领域中系统小型化、高可靠及低成本的需求,并且具有加强系统稳定性和减少功耗方面的优势,因此射频ME......