多孔硅含能芯片相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

多孔硅含能芯片相关论文

纳米多孔硅含能芯片性能研究

采用MEMS（Micro-electromechanical Systems）工艺在硅片上加工耐HF酸掩模窗口,结合电化学腐蚀法制备出多孔硅阵列。通过扫描电镜和比......

期刊

多孔硅含能芯片 MEMS 表征点火 Porous silicon explosive film MEMS Charactcrizatiom Ignitio

多孔硅含能芯片的能量释放特性和规律研究

多孔硅内嵌氧化剂后形成一类新型纳米结构含能材料。由于其制备工艺与MEMS工艺兼容,适合作为含能芯片的含能材料。目前这种纳米结......

学位

多孔硅含能材料多孔硅含能芯片延迟时间输出压力冲量喷孔

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