厚度形态误差相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

厚度形态误差相关论文

静电驱动微梁谐振器的厚度形态误差特性分析

本文研究了一类双极板静电驱动两端固支微梁谐振器.考虑中性面拉伸和厚度形态误差,建立了微谐振器连续体模型.厚度形态误差通过设......

期刊

微梁谐振器厚度形态误差静态吸合多尺度法软硬特性 microbeam resonatorthickness shape errorstatic pull-

厚度形态误差下静电驱动微梁谐振器的力学性能研究和优化设计

随着社会的飞速发展以及生活水平的不断提高,人们对微机电系统(MEMS)器件的需求越来越大。相比于传统机电系统,MEMS器件具有体积小......

学位

MEMS 微谐振器厚度形态误差吸合效应非线性振动有限元仿真软硬过渡点

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