用酒精和氢气的混合气体为工作气体 ,在不同的酒精浓度下 (1 0 % ,1 5% ,2 0 % )下利用微波等离子体化学气相沉积法在较低温度下 (......

采用酒精和氢气的混合气体为工作气体，在不同的酒精浓度下（１０％，１５％，２０％）下利用微波等离子体化学气相沉积法在较低温度下（４５０￣５００℃）以单晶硅为衬底制备出类......