化学机械抛光液相关论文
本文考察了色氨酸(Try)对化学机械抛光液中的保护作用，通过复配技术研究了Try和苯并三氮唑（BTA）对化学机械抛光液中铜的协同保护作用......
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用电化学测试技术研究了腐蚀介质和成膜剂浓度对铜表面的腐蚀与钝化成膜的影响,分析了钝化膜的成分,探讨了钝化膜在抛光压力和转速......
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