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[学位论文] 作者：罗成峰,
来源：华中科技大学 年份：2021
电路集成度的提高和关键尺寸的减小对半导体制造技术提出了新的挑战,晶圆表面洁净度的要求越来越高,曾经允许的缺陷在更高的要求下成为了杀手级缺陷。对无图形晶圆表面进行缺陷检测,有利于减小半导体制造的关键尺寸和提升生产良率。暗场散射技术通过检测缺陷在......
[期刊论文] 作者：陈修国,王才,杨天娟,刘佳敏,罗成峰,刘世元,
来源：激光与光电子学进展 年份：2022
在线测量检测技术与装备是保证集成电路（IC）制造质量和良率的唯一有效技术手段，在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差，以及缺陷等进行快速、非破坏、精确测量与检测。本文首先从尺寸测量和缺陷检测两个方面介绍了IC制造在线光学测量检测技术的研究现......
[期刊论文] 作者：王欣,罗成峰,陶清海,孙利民,李庆华,李杨,史宪伟,,
来源：城市道桥与防洪 年份：2016
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
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