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[学位论文] 作者:黄健树, 来源:重庆大学 年份:2020
微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)需要其驱动器具有大行程、高精度、高响应速度等特点。由于直线电机无需利用传动装置进行运动转换,相比于旋转电机具有定位精度高,响应速度快,动子加速度大等优点,正好满足微机电系统中对微驱动器的要求。本文针对适......
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