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[期刊论文] 作者：谷康康, 陶晓杰,
来源：清洗世界 年份：2022
对比两种集成电路制造湿法工艺设备的优缺点及未来发展趋势，对影响单片湿法清洗工艺中蚀刻率因素进行分析总结，介绍化学药液混合和制程喷吐中流量控制技术的发展，设计实验将两种化学药液流量控制阀件的蚀刻清洗效果对比，并对未来技术发展进行简要分析。......
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