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[学位论文] 作者:戴仕千, 来源:北京交通大学 年份:2019
薄膜晶体管(TFT)是当今平板显示领域中不可或缺的电子元器件之一。随着显示技术向着大尺寸、超高分辨率、3D显示等方向不断发展,传统的a-Si TFT因其迁移率低而p-Si TFT因其大面积制备均匀差等缺点而难以满足其发展需求。氧化物薄膜晶体管因其具有较高的迁移率、......
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