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[会议论文] 作者：伊藤隆生,
来源：全国薄膜学术讨论会 年份：1999
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[期刊论文] 作者：伊藤隆生,
来源：真空 年份：1998
本文介绍了ＴＦＴ／ＰＤＰ用真空成膜技术和设备，主要介绍ＴＦＴ用ＩＴＯ膜和ＰＤＰ用ＭｇＯ／Ｃｕ．Ｃｒ．Ａｌ膜的成膜技术和设备。This article describes the TFT / PDP vacuum deposition technology and equipment, mainly used......
[期刊论文] 作者：伊藤隆生,
来源：真空 年份：1998
本文介绍了平板显示器制造过程中真空设备的应用，其中介绍了液晶制造过程中所应用的溅射成膜工艺和设备，以及低温多晶硅ＴＦＴ的成膜技术。This article describes the application...
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