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分析了光激励谐振器振动的检测问题，用调制激光束激励谐振器使其发生振动，并采用光学干涉的方法测量了这种微振动。
光激励和光检测微型硅谐振器研究
【摘 要】
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分析了光激励谐振器振动的检测问题，用调制激光束激励谐振器使其发生振动，并采用光学干涉的方法测量了这种微振动。
【机 构】
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北方交通大学计算机科学系,北京100044清华大学自动化系,北京100084
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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0年JJZZ803.015期
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