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微机电系统(MEMS:Micro Electro-Mechanical System)是一种集成微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件,实现感应和控制物理环境的芯片级设备.
正从实验室走出的MEMS
【摘 要】
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微机电系统(MEMS:Micro Electro-Mechanical System)是一种集成微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件,实现感应和控制物理环境的芯片级设备.
【机 构】
：
GenericsGroup公司
【出 处】
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今日电子
【发表日期】
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2003年6期
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