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提出了一种测量硬质薄膜残余应力的新方法——剥层曲率半径法，并设计了一套光杠杆系统，可以精确测量镀膜样品因薄膜存在残余应力而造成试片弯曲的曲率半径，从而计算出薄膜的残余应力．通过对仪器测量误差的考察和电弧离子镀（Ti，Al）N薄膜残余应力的测定，证明了该方法的有效性．
一种测量硬质薄膜残余应力的新方法
【摘 要】
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提出了一种测量硬质薄膜残余应力的新方法——剥层曲率半径法，并设计了一套光杠杆系统，可以精确测量镀膜样品因薄膜存在残余应力而造成试片弯曲的曲率半径，从而计算出薄膜的残余
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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2008年1期
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