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针对光学薄膜厚度测量困难问题,提出了一种基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法。采用经典迈克尔逊干涉光路,利用外差干涉原理将薄膜厚度差转换为光程差,以精密位移平台为扫描机构实现薄膜厚度的逐行扫描测量。测量系统在恒温实验条件下20min内的漂移不超过8nm,测量结果平均差小于1nm,通过与椭圆偏振仪的测量结果比较,测量差值为12.97nm,表明了该方法的可行性。