【摘 要】
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为满足广大用户对样品数十纳米高空间分辨率三维精细结构测量的强烈需求,基于上海光源软X光谱学显微光束线站,研制了一套满足实验要求的常温纳米CT系统.系统中随着转台转动,
【机 构】
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中国科学院上海应用物理研究所张江园区
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为满足广大用户对样品数十纳米高空间分辨率三维精细结构测量的强烈需求,基于上海光源软X光谱学显微光束线站,研制了一套满足实验要求的常温纳米CT系统.系统中随着转台转动,样品出现严重漂移问题,极大地影响了CT实验的精度和效率.本文利用系统现有的可见光显微镜(VLM),记录样品转动过程中的漂移轨迹,计算出样品的漂移规律,用软件在线自动校正由角度转动而产生的样品漂移,实验结果表明样品漂移控制在1 μm精度内,达到了实验要求5μm的精度范围,保证了纳米CT实验能够连续自动进行,大大提高了纳米CT的工作效率.
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