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在神光Ⅱ第9路ICF高功率激光装置中，采用可调法布里-珀罗（F-P）滤波器对幅度调制效应进行补偿，根据补偿装置的技术要求，提出-种应用nm量级精度的电容式位移传感器对可调F-P滤波器间距稳定度进行监控的系统，详细论述了监控系统的结构与工作原理。给出了电容式位移传感器的驱动电路及数据处理与控制软件的设计方案，并对电容式位移传感器的精度进行了标定。实验结果表明，该位移监控系统能够使可调F—P滤波器的间距稳定度保持在15nm／h以内，使幅度调制效应的调制深度优于4％。