金刚石n型掺杂的研究进展

来源 :河北大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lilunyi
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对金刚石n型掺杂工艺中的施主元素的类型、机理、及所使用的基底材料和方法进行了综合评述,并对I族元素(Li,Na),V族元素(N,P),Ⅵ族元素(O,S)等施主元素掺杂后的性能进行了比较.分析表明:采用CVD法,掺入硫杂质应是较理想的掺杂方式.
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