【摘 要】
：
采用磁控溅射在扩散工艺后的单晶硅片背面沉积了铝膜,对样品在600～900℃之间进行了快速热处理,利用四探针电阻测试仪、扫描电镜对热处理前后样品的电阻率、形貌等进行了表征,
【基金项目】
：
湖南省科技计划项目(2010JT4038)
论文部分内容阅读
采用磁控溅射在扩散工艺后的单晶硅片背面沉积了铝膜,对样品在600～900℃之间进行了快速热处理,利用四探针电阻测试仪、扫描电镜对热处理前后样品的电阻率、形貌等进行了表征,用半导体参数测试仪测量了样品的I-V曲线,计算了铝膜与硅片的接触电阻,并同步与印刷铝浆料样品进行了对比,研究表明,与丝网印刷工艺相比,溅射铝膜具有均匀细腻、电阻率低、接触电阻小等优点。
其他文献
<正>在未来并不遥远的一天,我们也会慢慢变老,而老了之后的生活原来是如此孤寂。有人在追悔:我们给父母钱,给父母买好吃好穿的,为什么却没有给父母沟通和交流的时间?还有人在
电视历史剧的本体特征是历史真实与电视剧艺术的辩证统一,它的创作既要以必要的历史研究为前提,又要对历史素材进行必要的审美转化和艺术变形。然而,曾经如火如荼的抗日剧,因
习近平总书记根据当前我国经济形势提出"要着力加强供给侧结构性改革"的要求,而这一经济学上的改革却并不局限于经济领域。可以说,经济与教育是须臾不可分的,高等教育改革也
<正>电磁骚扰是指任何可能引起设备、装备或系统性能降低或者对有生命或者无生命物质产生损害作用的电磁现象。电磁骚扰可引起设备、传输通道或系统性能的下降。它的主要要素
实验通过静电纺丝技术制备含羧基的（PSU/PVDF/SMA）纤维毡，以其作为载体，水热反应条件制备硫属半导体/（PSU/PVDF/SMA）电纺纤维复合材料，研究了可见光照下降解甲基橙的的效果和稳定性
目的:探讨白藜芦醇(RSV)对围绝经期抑郁症模型小鼠行为学影响,并观察其作用机制。方法:清洁级昆明种小鼠随机分为假手术组,围绝经期抑郁症模型组,氟西汀组(3 mg·kg-1),白藜
家用摄像机作为数码产品已进入普通百姓家中,但多数人制作家庭电影存在图像不稳定、构图不合理、用光不科学和编辑不专业等问题。本文针对制作家庭电影的一般流程中容易出现
<正>近年来,描写男性相爱的作品在中国文化界、影视界渐渐普及。尤其在女性群体间,这种作品变得极为流行,喜欢这些作品的女性自称为"同人女"、"腐女"。随着网络的发展和社会
解构主义研究方法下的目的论以功能翻译理论为依据,强调根据译文的预期功能来决定翻译方法.提出了删减法和改译法,着重讨论了目的论的应用.
<正> 我们的先哲庄子,曾梦幻为蝴蝶,这一永恒的梦,困惑着无数心的人。他——本文的评述对象的梦中,也常出现蝴蝶,一只五色斑澜而又捉摸不定的蝴蝶。法国当代幽默作家德哥勃拉