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由阴极过程主导的ＶＡＤ等离子体并不满足局部热力学平衡条件，其中的离子表现出非常强的流动性。本文讨论了这种特殊等离子体气氛下孤立宏观颗粒的荷电特性。
VAD等离子体中宏观粒子的悬浮电位
【摘 要】
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由阴极过程主导的ＶＡＤ等离子体并不满足局部热力学平衡条件，其中的离子表现出非常强的流动性。本文讨论了这种特殊等离子体气氛下孤立宏观颗粒的荷电特性。
【机 构】
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华中理工大学电力工程系,430074
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1997年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金!59577005
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