【摘 要】
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采用实验室研制的石英钟罩式MPCVD装置,在低功率(950 W)条件下,以H2-CH4为反应气源,在不同甲烷浓度下沉积了金刚石膜。利用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱及X射线衍射仪等对金
【机 构】
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武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(11175137);湖北省教育厅项目(Q20151517)
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采用实验室研制的石英钟罩式MPCVD装置,在低功率(950 W)条件下,以H2-CH4为反应气源,在不同甲烷浓度下沉积了金刚石膜。利用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱及X射线衍射仪等对金刚石膜二次形核现象进行了分析。实验结果表明:甲烷浓度变化对金刚石膜沉积过程中二次形核有不同程度的影响。甲烷浓度由1.0%上升到2.5%时,薄膜中二次形核现象逐渐增加,晶粒尺寸逐渐减小,金刚石相含量下降,晶面取向由(111)面转变为(220)面以及(311)面。
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