【摘 要】
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在光纤通信中,光调制器光信号调制发挥着不可替代的作用。介绍了光调制器的发展历程和最新进展,详细分析了不同种类的Si基光调制器的工作原理。与化合物材料光调制器进行了对
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在光纤通信中,光调制器光信号调制发挥着不可替代的作用。介绍了光调制器的发展历程和最新进展,详细分析了不同种类的Si基光调制器的工作原理。与化合物材料光调制器进行了对比,指出最新技术利用Si作为基本材料,研究起步较晚,但是进展较快,但目前其相应速度等特性还比不上化合物调制器。表明由于Si基光调制器易与CMOS和VLSI工艺兼容,实现光电集成的全Si化和单片化是目前的一个研究热点。
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