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冷纯水系统是供给曝光台、电子枪等工序用的20℃±0.1℃的纯水温度控制装置,由日本进口.该装置自1994年8月初开始,运行出现不正常,温度波动很大,最后发展到开机运行约20min电源就保护跳闸.
冷冻机中热敏电阻的代用一例
【摘 要】
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冷纯水系统是供给曝光台、电子枪等工序用的20℃±0.1℃的纯水温度控制装置,由日本进口.该装置自1994年8月初开始,运行出现不正常,温度波动很大,最后发展到开机运行约20m
【机 构】
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广东福地科技术股份有限公司制造部
【出 处】
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设备管理与维修
【发表日期】
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2002年3期
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