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ＭＯ（金属有机物）源是ＭＯＣＶＤ技术的重要原料，对ＭＯ源中的金属杂质进行了分析研究。着重讨论了样品的制备、酸度对分析元素谱线强度的影响、基体铝对杂质元素谱线背景影响和光谱谱线干扰，以及基体铝对分析元素谱线强度的影响，做了回收实验，最后采用基体匹配法对三甲基铝中的金属杂质进行了测定。将不同实验室的分析数据进行对比，结果令人满意。