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对影响AIN共烧多层基板平整性的几个因素进行了研究。取得了一定的成果。
氮化铝共烧多层基板平整性的研究
【摘 要】
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对影响AIN共烧多层基板平整性的几个因素进行了研究。取得了一定的成果。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第43研究所
【出 处】
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电子元器件应用
【发表日期】
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2003年1期
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