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研究计算机硬盘磁头滑块承载面结构的设计理论与加工方法.分析了现有磁头滑块的结构特点及其设计理论和设计方法;利用光刻及干法刻蚀的工艺及设备,进行了所设计磁头滑块的微加工;并利用三维表面形貌测量仪对所加工的磁头进行了加工质量分析,给出实验测量值与设计值的比较结果.
计算机硬盘磁头滑块的设计与加工研究
【摘 要】
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研究计算机硬盘磁头滑块承载面结构的设计理论与加工方法.分析了现有磁头滑块的结构特点及其设计理论和设计方法;利用光刻及干法刻蚀的工艺及设备,进行了所设计磁头滑块的微
【机 构】
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北方工业大学,机电学院,北京,100041清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084;
【出 处】
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机械设计
【发表日期】
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2010年4期
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