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介绍了软x-射线滤光片支撑栅网的工作原理及其制作工艺，以金属镍为结构材料，采用了微机电系统（MEMS）技术中的电镀工艺及剥离工艺，讨论了制作工艺中的难点，最后成功制作了网面平整、网线匀称、表面光亮、应力小、厚度均匀的镍网，该镍网厚14μm，栅线间隔36．3μm，透过率80％。
软X-射线滤光片支撑镍网的设计及制作工艺研究
【摘 要】
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介绍了软x-射线滤光片支撑栅网的工作原理及其制作工艺，以金属镍为结构材料，采用了微机电系统（MEMS）技术中的电镀工艺及剥离工艺，讨论了制作工艺中的难点，最后成功制作了网面平整、
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2010年2期
【基金项目】
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基金项目：国家自然科学基金资助项目（40474069）
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