【摘 要】
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<正> 前言生产中常常遇到几十微米到上百微米的小直径的测量问题,如导线、仪表小轴、冲针(工具)等等,对于这一类工件的测量,通常简便的方法是在工具显微镜上直接用影象法测量
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<正> 前言生产中常常遇到几十微米到上百微米的小直径的测量问题,如导线、仪表小轴、冲针(工具)等等,对于这一类工件的测量,通常简便的方法是在工具显微镜上直接用影象法测量。由于影象法对线的散发较大,要想提高测量精度比较困难。当工件的精度要求较高(如工具类)时,可以采用另一种方法即干涉测量法——用一个小标准具和一台接触干涉仪在万能测长仪上实现。标准具的尺寸选择和被测工件直径尽量接近,其差值用
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