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介绍电化学微／纳米加工技术，特别是厦门大学电化学微／纳米加工课题组建立起来的约束刻蚀剂层技术，旨在让广大师生了解这一特种加工技术，共同促进我国电化学微／纳米加工技术的研究及产业化进程。
电化学微／纳米加工技术
【摘 要】
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介绍电化学微／纳米加工技术，特别是厦门大学电化学微／纳米加工课题组建立起来的约束刻蚀剂层技术，旨在让广大师生了解这一特种加工技术，共同促进我国电化学微／纳米加工技术的研究及
【机 构】
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厦门大学化学化工学院化学系,厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室
【出 处】
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大学化学
【发表日期】
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2012年3期
【基金项目】
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基金资助：国家自然科学基金（No.91023006,91023047,91023043）,中央高校基本科研业务费专项资金（No.2010121022）
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