CVD法制备高纯钛的工艺优化

来源 :有色金属(冶炼部分) | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuhaishun
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采用正交试验研究了钛卤盐热裂解法生产高纯钛的工艺条件.结果表明,各因素对产率的影响程度依次为低温区(卤化源区)温度>基底截面直径>卤化剂用量>高温区(热裂解区)温度.优化后的工艺参数为:卤化剂用量600 g左右、基底截面直径6 mm、低温区和高温区温度分别控制在200~700℃和1 100~1 300℃.在最优条件下获得的产品经电子束熔炼后,纯度可以达到99.998%.
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