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介绍了利用ＶＤＭＯＳＦＥＴ的寄生ｐｎ结二极管Ｄｓｄ作为温敏元件来测量功率ＶＤＭＯＳ管热阻抗的方法，给出了温敏参数中温度系数和几类功率ＶＤＭＯＳ管瞬态热阻抗的测量结果，讨论了对热阻抗测量准确度有较大影响的四个因素，其结果，在一定条件下进行的瞬态热阻抗测量可用来监测ＶＤＭＯＳ管的芯片粘接质量和用作功率ＶＤＭＯＳ管的快速热筛选。