【摘 要】
：
光刻胶灰化是薄膜晶体管四次光刻工艺的核心工艺之一.初步研究了用纯O2对光刻胶进行灰化的工艺,影响光刻胶灰化的主要因素有功率、气压和灰化气体的流量,经过一组正交实验,得
【机 构】
：
北京交通大学,北京京东方光电科技有限公司
论文部分内容阅读
光刻胶灰化是薄膜晶体管四次光刻工艺的核心工艺之一.初步研究了用纯O2对光刻胶进行灰化的工艺,影响光刻胶灰化的主要因素有功率、气压和灰化气体的流量,经过一组正交实验,得到了功率、气压、灰化气体的流量对光刻胶的灰化速率和均匀度的影响趋势.结果表明,功率是影响灰化速率的主要因素.通过不断地优化光刻胶的灰化条件,最终得到了理想的灰化条件,即功率为10500W,气压为26.7 Pa,O2的流量为2000mL/min,灰化时间为91s.
其他文献
目的了解大鼠C7神经根各束支运动纤维含量及其功能定位,为临床选择神经供体提供依据. 方法雄性SD大鼠30只,采用显微解剖方法将大鼠C7及其所属束支、上肢各神经终支分离,测量
分析当多元随机变量协方差阵正定时,各随机分量应满足的关系,并结合多项分布研究离散型与连续型样本协方差阵的不同.
目的探讨牛磺酸对大鼠肝脏缺血再灌流损伤的作用及机制。方法48只实验大鼠随机分为三组假手术组(A组)、缺血-再灌流组(B组)和给予牛磺酸后缺血-再灌流组(C组)。检测再灌流30m
针对高等学校大型贵重仪器设备利用率低的现状,分析了仪器设备利用率低下的主要原因,提出了高等学校大型贵重仪器设备利用率的措施.
目的:探讨用螺旋CT三维重建评价复杂的全髋置换术前的临床应用价值.方法:选择2001-02/2003-06解放军总医院骨科收治的髋关节疾患行全髋关节置换术患者85例.髋臼发育不良55例,
目的:观察重组人骨形态发生蛋白-2与卵磷脂复合材料修复兔长骨节段性骨缺损的能力,检验重组人骨形态发生蛋白-2的诱导成骨活性及卵磷脂作为重组人骨形态发生蛋白-2载体材料的
目的探讨自然杀伤(NK)T细胞活化剂α-脑苷酯(α-galactosylceramide,α-GalCer)对狼疮鼠(NZB×NZW)F1小鼠(BWF1)的影响.方法40只BWF1按治疗开始时鼠龄分为5周组和6月组.每组
目的探讨国产覆膜支架腔内修复术治疗主动脉夹层、主动脉创伤和动脉瘤的可行性.方法13例患者术前均行CTA、MRA或彩超特殊检查,测定和了解主动脉弓部、重要分支的直径和受累情
目的探讨荷胰腺癌裸鼠模型肿瘤组织生长抑素受体(SSTR)报告基因的mRNA表达水平与99mTc-sandostatin显像对肿瘤的靶向诊断价值及二者的相关性。方法建立荷胰腺癌动物模型,对18
乡镇政府公共产品供给是一个重大的理论与实践课题.近几年来,不少学者对乡镇政府公共产品供给制度进行了许多有益的探索,但从乡镇职能角度出发立论者较少,这在一定程度上影响