【摘 要】
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合肥国家高新技术产业开发区(简称高新区)是合肥综合性国家科学中心核心区、合肥滨湖科学城创新引领核、中国(安徽)自贸区合肥片区核心区,是创新型国家建设的战略支点。在新一代人工智能、量子技术等前沿技术、颠覆性技术和产业化方面取得重大突破,形成了中国声谷量子中心的园区品牌,位居169个国家级高新区第六名,全省开发区综合考核第一名,被国家纳入全国10家世界一流高科技园区建设
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合肥国家高新技术产业开发区(简称高新区)是合肥综合性国家科学中心核心区、合肥滨湖科学城创新引领核、中国(安徽)自贸区合肥片区核心区,是创新型国家建设的战略支点。在新一代人工智能、量子技术等前沿技术、颠覆性技术和产业化方面取得重大突破,形成了中国声谷量子中心的园区品牌,位居169个国家级高新区第六名,全省开发区综合考核第一名,被国家纳入全国10家世界一流高科技园区建设序列,跻身参与全球科技竞争的国家队。原始创新策源地。拥有中国科大高新校区、量子信息与量子科技创新研究院、中科院合肥技术创新工程院、中电科38所和类脑智能国家工程实验室、人工智能研究院、天地一体化合肥网络中心、国家健康医疗大数据中心等重要科教资源和新型研发机构,聚集了华为、BAT、寒武纪等龙头企业创新中心。国家高新技术企业1500家,R
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晶圆制造过程作为集成电路产业的核心,是现代计算机、通信、消费电子、信息行业的基础,关系到国民经济的方方面面。过程监测作为保证制造过程的安全和提高产品质量的技术,广泛地被应用于晶圆制造过程中。特别是基于数据驱动的多元统计过程监测方法,更是成了学术和工业界着重关注的热点之—。晶圆制造过程作为典型的批次过程,拥有批次过程常见的多阶段特性、批次长度不一致、非线性变化特性,但
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