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减薄设备是半导体工艺中的关键设备,针对软脆材料的化学腐蚀减薄,研制出一种高精度化学腐蚀减薄机。通过分析与减薄精度相关的参数,提出采用质量测量法来提高设备测量精度;通过采用不同浓度梯度药液提高工艺精度和速度;通过合理布局设备结构,提高了设备的稳定性、可靠性。
一种高精度化学腐蚀减薄设备与减薄工艺
【摘 要】
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减薄设备是半导体工艺中的关键设备,针对软脆材料的化学腐蚀减薄,研制出一种高精度化学腐蚀减薄机。通过分析与减薄精度相关的参数,提出采用质量测量法来提高设备测量精度;通
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所,中国电子科技集团公司第十一研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2020年5期
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