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提出一种结构简单、使用方便的用于微电子机械部件运动状态测量的光纤斐索干涉装置.考虑到光纤出射光束的发散,在有效反射率中引入了损耗因子,讨论了它的基本工作原理.为了提高测量精度和最小可探测距离,光纤探头固定在一个PZT上作可控调制.用该装置测量了喇叭膜片在多种驱动条件下的运动状态,进行了数据处理和讨论.