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用Ｘ射线双晶衍射摇摆曲线以及双晶Ｘ射线形貌对两个ＳｒＴｉＯ３基片的单晶质量进行了对比研究，并用Ｘ射线掠入射镜面反射及漫散射研究了它们的表面粗糙结构．结果表明，两个ＳｒＴｉＯ３基片中都存在镶嵌缺陷，其中一个样品的晶体质量相对较高．两个样品的表面粗糙结构相差很大，包括均方根粗糙度σ和横向相关长度ξ．σ分别为（０５±０１）和（１３±０１）ｎｍ，ξ分别为（１２００±２００）和（３００±２０）ｎｍ．样品的表面粗糙将增加Ｘ射线的漫散射强度而降低镜面反射的强度．晶体质量较高的样品，其表面也较平整，粗糙度较小，因此有利于外延膜的生长