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对氢气、硫化氢和氨等的检测通常使用钯膜栅场效应管。介绍一种新型铂膜栅场效应管传感器,它可以检测低浓度的磷烷,其机理与钯膜栅场效应管检测氢气不完全相同,还研究了温度对检测磷烷的影响,测定了不同浓度磷烷下铂膜栅场效应管的功函数值。当磷烷浓度在10^-6-1.5×10^-5范围内,信号与磷烷浓度的对数呈线性。