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研究了不同氧化层厚度的两种国产NPN双极晶体管在高低剂量率下的辐射效应和退火特性.结果显示,随总剂量的增加,晶体管基极电流增大,电流增益下降,且薄氧化层的晶体管比常规厚氧化层的晶体管退化更严重.另外,两种NPN晶体管均表现出明显的低剂量率损伤增强效应.本文对各种实验现象的损伤机理进行了分析.
氧化层厚度对NPN双极管辐射损伤的影响
【摘 要】
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研究了不同氧化层厚度的两种国产NPN双极晶体管在高低剂量率下的辐射效应和退火特性.结果显示,随总剂量的增加,晶体管基极电流增大,电流增益下降,且薄氧化层的晶体管比常规厚
【机 构】
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新疆电子信息材料与器件重点实验室,中国科学院研究生院,模拟集成电路国家重点实验室
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金;
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