准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究

来源 :激光技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wwangruir
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
以玻璃为实验靶材,用精密微动平台准确调节靶材位置,利用波长248nm的KrF准分子激光器,研究了准分子激光直写加工图形和激光脉冲数及脉冲能量之间的关系。实验证明,随着加工槽深度的增大,单个激光脉冲所烧蚀的深度逐渐减小,当达到一定的脉冲数时,所烧蚀槽的深度基本上保持不变。脉冲能量越大,刻蚀速率越大,其速率同样具有一个上限值。
其他文献
处于青春发育期的初一、初二学生,由于身心的急聚发展变化,带来了种种发展的可能性,因此,既是发展的危险期,同时也不可避免的成为教育的关键期.他们是一个个鲜活的个体,他们
高斯光束在光纤之间的耦合方式有多种,常用的一种是准直-聚焦的透镜耦合系统。为确定耦合系统的参数,首先分析单透镜对高斯光束的变换,从变换后束腰半径的表达式中看出它受到多
文章详细的阐述了在密立根油滴实验的具体教学过程中容易出现的一些问题及其应对措施;并总结出几点经验体会,以期对该实验的教学和改进有一个较大的提高与帮助。
研究了余弦高斯光束通过无光阑透镜后的焦开关现象.推导出了轴上最大光强位置满足的一元三次方程和相对跃迁量公式,并做了大量的数值计算.研究表明,当光束参数β>1时,聚焦余弦
了解目前来华留学生生活满意度情况,可以为我们进一步完善和发展留学生教育,发挥自身优势提供有力依据,并有利于在今后的发展。本文针对天津医学高等院校本科留学生就读生活
摘 要:所谓预设,就是指老师在课前备课或在课堂教学实施过程中,通过一些事先预备好的材料,来引导学生创设出有利于学生学习的问题情境,或者通过一些例子,使学生更容易接受课堂上老师要讲的内容。预设主要表现在课前,老师备课时应该首先安排好讲课计划及授课过程中要提及的问题。预设并不仅仅表现在课前的准备,还有上课过程中,老师在讲解新知识点的时候,也很需要预设。  关键词:初中数学 问题预设 引导教学  中