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在分析增量式时栅可靠性问题的基础上,介绍了冗余设计思想和冗余结构,给出了增量式时栅位移传感器信号处理电路的硬件冗余设计方案;增加动测头,并将其产生的信号采用并联方式进行增量式时栅防失步硬件冗余结构设计;在保证防失步可靠度的基础上,并联几个相同结构的防失步电路模块,可有效防止由于串扰引起的增步现象。对设计方案进行了仿真分析,并给出了增量式时栅可靠性设计的参考数据。结果显示,选取适当的动测头数,可在提高实时性的同时提高增量式时栅位移传感器的可靠性。