论文部分内容阅读
利用透射光谱矩阵光学原理，对三种GaN或AlGaN外延薄膜的透射光谱进行了分析．在传统的透射光谱拟合方法的基础上，添加了表征材料表面粗糙度、膜内散射情况的拟合参量，拟合曲线与实验曲线达到了准确的吻合．结果表明：外延薄膜透射光谱的拟合可以准确提取出材料的消光系数、袁面状况、散射情况、折射率及厚度，从而对样品质量作出详细的分析．