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用溶胶-凝胶法在酸碱复合催化条件下制备了Si O2溶胶,采用浸渍提拉法在K9玻璃上制备了性能稳定的Si O2薄膜,并用三甲基氯硅烷对Si O2薄膜进行了表面改性。用反射式椭圆偏振光谱仪测试薄膜的椭偏参数,并用Cauchy模型对椭偏参数进行数据拟合,获得了Si O2改性前后在300~700 nm波段的色散关系。讨论了薄膜改性与光学性能间的关系。结果表明：Cauchy模型能较好的描述溶胶-凝胶薄膜在300~650 nm波段的光学性能;表面改性后Si O2薄膜光学常数发生改变,但未影响色散关系的变化趋势;薄膜改