功率器件封装失效分析及工艺优化研究

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伴随功率金氧半场效晶体管(mosfet)电流和工作电压的大幅度增加,以及芯片尺寸的逐渐减小,从而导致器件芯片内部电场也相应增大。这些现象都严重影响功率M0SFET的可靠性,怎样提升功率器件的可靠性备受业界的期待。而其中关键的影响因素是功效器件封装失效的问题。本文介绍功率器件封装的内涵和分类,通过对失效机理的分析,提出功率器件封装工艺优化的路径。
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