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5528A双频激光干涉仪在定位精度检测中的评定软件和扩展
5528A双频激光干涉仪在定位精度检测中的评定软件和扩展
来源 :机械制造与自动化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wxj1208
【摘 要】
:
介绍双频激光干涉仪在几何测量中的测试和软件评定方法,以及评定标准的软件扩展和延伸.
【作 者】
:
盛志冲
王晓勇
徐伟
瞿网兰
【机 构】
:
南京工业职业技术学院,南京工程学校,南京机械设备工程公司
【出 处】
:
机械制造与自动化
【发表日期】
:
2001年6期
【关键词】
:
激光干涉仪
软件扩展
几何测量
定位精度
laser interferometer
measuing
software expansion
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介绍双频激光干涉仪在几何测量中的测试和软件评定方法,以及评定标准的软件扩展和延伸.
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