【摘 要】
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本文分析了校准方程的关系 ,提出对于互易的测试夹具 ,使用一个传输标准得到的四个线性方程可以同时用于校准计算 .在这个关系的基础上 ,讨论了TSM(thru short match)和TRL(t
【机 构】
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中国科学院半导体所集成光电子国家重点实验室
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本文分析了校准方程的关系 ,提出对于互易的测试夹具 ,使用一个传输标准得到的四个线性方程可以同时用于校准计算 .在这个关系的基础上 ,讨论了TSM(thru short match)和TRL(thru reflect line)方法中的方程选择 .实验和分析表明不同的选择会导致不同精度的结果 ,校准精度可以通过利用已建立的关系和合适地选择方程得以提高 .已建立的理论也可应用于TOM和LRL方法
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