【摘 要】
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非制冷红外成像仪以其优良的性价比和高可靠性而倍受关注.近期,非制冷的热机械型红外成像仪有望发展成为新的低价格高性能的红外成像设备.本文提出了一种新型光学读出的红外
【机 构】
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中国科学技术大学,中科院微电子研究所
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非制冷红外成像仪以其优良的性价比和高可靠性而倍受关注.近期,非制冷的热机械型红外成像仪有望发展成为新的低价格高性能的红外成像设备.本文提出了一种新型光学读出的红外探测仪.此红外探测仪的核心器件焦平面阵列(FPA)由无硅基底结构的微悬臂梁阵列构成.每个微悬臂梁独立地把入射的红外热辐射转化为被光学系统探测的热变形.它不需要读出电路、真空腔和制冷装置,其理论上的噪声等效温度差接近致冷型红外成像系统,而制作成本和难度将大幅降低.制作的无硅基底单层膜结构的FPA,其单元尺寸为200μm×100μm,阵列大
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1988年10月,我们在江门口岸仓虫普查中,查获外检对象——巴西豆象 Zabrotessubfasciatus(Boheman),这是江门口岸第一次查到此虫。据查,1988年5、6月份以来,江门、新会一些公